S1000 校準(zhǔn)圖形放大倍率標(biāo)準(zhǔn)樣品-光學(xué)計(jì)量器具：

S1000 校準(zhǔn)圖形放大倍率標(biāo)準(zhǔn)樣品-光學(xué)計(jì)量器具：

本標(biāo)準(zhǔn)樣品的線距值由德國(guó)聯(lián)邦物理研究所(PTB)使用一臺(tái)大范圍計(jì)量型掃描力顯微鏡(M- LRSFM)進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量結(jié)果可直接溯源至米定義計(jì)量基準(zhǔn)。各線距結(jié)構(gòu)的測(cè)量值分別為：400006±42nm(X方向)、400018±4.2nm(Y方向)、200004±1.8nm(X方向)、200000±1.8nm(Y方向)、100002±0.5mm(X方向)、100000±0.5mm(Y方向)、500000.6mm(X方向)、50003±0.6mm(Y方向)、1000.4±0.7nm(X方向)1000.4±0.7mm(Y方向)，置信限為95%，k=2。

測(cè)量范圍：線間隔結(jié)構(gòu)—（0-50）μm

不確定度/準(zhǔn)確度等級(jí)：Ｕ=（1+2*10-3*p）nm，k=2（Ｐ-nm）

> >  特點(diǎn)：

1、擁有現(xiàn)代的加工工藝，研制技術(shù)本身具有足夠的精度等保證其質(zhì)量
2、底層鍍有純鈦層，表面有120nm厚的Au膜，不僅可長(zhǎng)期穩(wěn)定保存，而且具有良好的導(dǎo)電性
3、具有格柵狀雙向結(jié)構(gòu)，與早期使用的初級(jí)銅網(wǎng)結(jié)構(gòu)相似，   是可以同時(shí)對(duì)任意兩個(gè)垂直方向上的掃描電鏡、電子探針的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正的標(biāo)樣
4、有德國(guó)PTB的計(jì)量型原子力顯微鏡的測(cè)量研究報(bào)告和研制者的研制報(bào)告正式發(fā)布(見(jiàn)“掃描電鏡測(cè)長(zhǎng)問(wèn)題的討論"一書(shū))，即采用目前精度很好、可溯源的檢測(cè)方法，有可靠的文獻(xiàn)依據(jù)
5、S1000曾經(jīng)過(guò)我國(guó)國(guó)家計(jì)量研究院的多次檢驗(yàn)測(cè)試，并多次獲得合格證書(shū)；
6、S1000早在2005年通過(guò)全國(guó)微束標(biāo)委會(huì)的有關(guān)專家評(píng)審?fù)ㄟ^(guò)，具備報(bào)批國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)樣品的資格，證明其質(zhì)量?jī)?yōu)良
7、公開(kāi)出版的“掃描電鏡測(cè)長(zhǎng)問(wèn)題的討論"專著實(shí)際上是一本S1000的綜合性的研制報(bào)告；
8、價(jià)格低廉，易于保存、易于普及到每個(gè)掃描電鏡和電子探針實(shí)驗(yàn)室
9、功能多，用途多
(1)可用于同時(shí)對(duì)任意兩個(gè)垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正，是校準(zhǔn)從10×~100，000×及以上范圍的圖像放大倍率的有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品：是執(zhí)行GB/T27788“微束分析一掃描電鏡一圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則"一個(gè)精準(zhǔn)的校準(zhǔn)標(biāo)樣
(2)可直接用于同一量級(jí)物體，毫米量級(jí)到納米量級(jí)長(zhǎng)度的精確比對(duì)測(cè)量，是執(zhí)行GB/T16594和GB/T20307微米和納米測(cè)量的一個(gè)不能缺少的精準(zhǔn)的度量工具
(3)可用于對(duì)圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進(jìn)行校驗(yàn)，是評(píng)價(jià)掃描電鏡圖像質(zhì)量的一個(gè)重要工具
(4)對(duì)樣品臺(tái)傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗(yàn)也有較好的作用

(5)利用標(biāo)樣上的“點(diǎn)子"圖像，可對(duì)電子束作漂移檢驗(yàn)和樣品臺(tái)復(fù)位檢驗(yàn)